aerotech
エアロテック ロングストローク・ナノ精密位置決めステージ
リニアナノポジショナー・ロータリーナノポジショナー
エアロテック社のナノポジショナーは、長い可動距離をはじめとする優れた特性により、工業生産分野の最先端研究及び開発現場で絶大な支持を得ています。
各リニアステージ用コントローラーは、こちら
各ピエゾステージ用コントローラーは、こちら
ANT95L 単軸 リニアステージ
●ロングストローク●
CENTER:ANT95L 単軸リニアステージ
ANT95L-025-PL2(plus) 25[mm]
ANT95L-050-PL2(plus) 50[mm]
ANT95L-075-PL2(plus) 75[mm]
ANT95L-100-PL2(plus) 100[mm]
●共通仕様●
高分解能 1[nm]
繰返し位置決め精度 ±50[nm]
位置決め精度 ±250[nm]
静止安定性 1[nm]未満
移動速度 500[mm/sec]
![ANT95L-050-PL2 1[nm] ステップ プロット](swfu/d/ANT95-L_g.JPG "ANT95L-050-PL2 1[nm] ステップ プロット")
ANT95-XY軸 リニアステージ
●ロングストローク●
ANT95-25-XY-ULTRA 25[mm]
ANT95-50-XY-ULTRA 50[mm]
●共通仕様●
高分解能 1[nm]
繰返し位置決め精度 ±25[nm]
位置決め精度 ±250[nm]
静止安定性 1[nm]未満
移動速度 500[mm/sec]
![ANT95-25-XY-ULTRA 低軸側 1[nm] ステップ プロット](swfu/d/ANT95-XYultra_g.JPG "ANT95-25-XY-ULTRA 低軸側 1[nm] ステップ プロット")
ANT130-L 単軸 リニアステージ
●ロングストローク●
ANT130-035-L-PLUS 35[mm]
ANT130-060-L-PLUS 60[mm]
ANT130-110-L-PLUS 110[mm]
ANT130-160-L-PLUS 160[mm]
●共通仕様●
高分解能 1[nm]
繰返し位置決め精度 ±75[nm]
位置決め精度 ±250[nm]
静止安定性 1[nm]未満
移動速度 500[mm/sec]
![ANT130-060-L-PLUS 5[nm] ステップ プロット](swfu/d/s_ANT130-L_g.JPG "ANT130-060-L-PLUS 5[nm] ステップ プロット")
ANT130-XY軸 リニアステージ
●ロングストローク●
ANT130-060-XY-ULTRA 60[mm]
ANT130-110-XY-ULTRA 110[mm]
ANT130-160-XY-ULTRA 160[mm]
●共通仕様●
高分解能 1[nm]
繰返し位置決め精度 ±75[nm]
位置決め精度 ±250～300[nm]
静止安定性 1[nm]未満
移動速度 500[mm/sec]
ANT95-R 回転ステージ
●回転角度●
ANT95-20-R 20[deg]
ANT95-180-R 180[deg]
ANT95-360-R 360[deg](連続)
●共通仕様●
高分解能 0.01[arc sec]
繰返し位置決め精度 1.5[arc sec]
位置決め精度 5[arc sec]
静止安定性 0.005[arc sec]
移動速度(20-R,180-R) 20[rpm]
(360-R) 200[rpm]
![ANT95-R 0.01[arc sec] ステップ プロット](swfu/d/ANT95R_g.JPG "ANT95-R 0.01[arc sec] ステップ プロット")
ANT130-R 回転ステージ
●回転角度●
ANT130-20-R 20[deg]
ANT130-180-R 180[deg]
ANT130-360-R 360[deg](連続)
●共通仕様●
高分解能 0.01[arc sec]
繰返し位置決め精度 1.5[arc sec]
位置決め精度 5[arc sec]
静止安定性 0.005[arc sec]
移動速度(20-R,180-R) 20[rpm]
(360-R) 200[rpm]
![ANT130-R 0.01[arc sec] ステップ プロット](swfu/d/ANT130R_g.JPG "ANT130-R 0.01[arc sec] ステップ プロット")
ANT95-L-Z リニア垂直ステージ
●ロングストローク●
ANT95-25-L-Z-PLUS 25[mm]
ANT95-50-L-Z-PLUS 50[mm]
●共通仕様●
高分解能 2[nm]
繰返し位置決め精度 ±75[nm]
位置決め精度 ±300[nm]
静止安定性 5[nm]未満
移動速度 200[mm/sec]
![ANT95-L-Z-PLUS 5[nm] ステップ プロット](swfu/d/ANT95LZ_g.JPG "ANT95-L-Z-PLUS 5[nm] ステップ プロット")
ANT130-L-Z リニア垂直ステージ
●ロングストローク●
ANT130-35-L-Z-PLUS 35[mm]
ANT130-60-L-Z-PLUS 60[mm]
●共通仕様●
高分解能 2[nm]
繰返し位置決め精度 ±75[nm]
位置決め精度 ±300[nm]
静止安定性 5[nm]未満
移動速度 200[mm/sec]
![ANT130-L-Z-PLUS 5[nm] ステップ プロット](swfu/d/ANT130LZ_g.JPG "ANT130-L-Z-PLUS 5[nm] ステップ プロット")
ANT95-3-V リニア垂直ステージ
●ロングストローク●
ANT95-3-V-PLUS 3[mm]
●共通仕様●
高分解能 1[nm]
繰返し位置決め精度 ±100[nm]
位置決め精度 ±200[nm]
静止安定性 1[nm]未満
移動速度 75[mm/sec]
![ANT95-3-V-PLUS 1[nm] ステップ プロット](swfu/d/ant953_disp.jpg "ANT95-3-V-PLUS 1[nm] ステップ プロット")
ANT130-5-V リニア垂直ステージ
●ロングストローク●
ANT130-5-V-PLUS 5[mm]
●共通仕様●
高分解能 2[nm]
繰返し位置決め精度 ±100[nm]
位置決め精度 ±200[nm]
静止安定性 2[nm]未満
移動速度 75[mm/sec]
![ANT130-5-V-PLUS 2[nm] ステップ プロット](swfu/d/ANT1305V_g.JPG "ANT130-5-V-PLUS 2[nm] ステップ プロット")
ANT-20G ゴニオメータ
●回転半径●
ANT-20G-50 50[mm]
ANT-20G-90 90[mm]
ANT-20G-110 110[mm]
ANT-20G-160 160[mm]
●共通仕様●
移動角度 最大 20[deg]
高分解能 0.05[arc sec]
繰返し位置決め精度(50) ±4[arc sec]
(90,110,160) ±2[arc sec]
位置決め精度(50) ±18[arc sec]
(90) ±10[arc sec]
(110) ±8[arc sec]
(160) ±6[arc sec]
静止安定性 ±0.03～0.08[arc sec]
移動速度 150[deg/sec]
![ANT-20G 0.25[urad] ステップ プロット](swfu/d/ANT20G_g.JPG "ANT-20G 0.25[urad] ステップ プロット")
QNP-L 単軸 リニアピエゾナノステージ
●ナノポジショニング●
QNP-40-100L 100[μm]
QNP-50-250L 250[μm]
QNP-60-500L 500[μm]
●仕様●
高分解能 (closed loop)
QNP-40-100L 0.3[nm]
QNP-50-250L 0.5[nm]
QNP-60-500L 0.9[nm]
繰返し位置決め精度 ±1[nm]
![QNP-L 0.5[nm] ステップ プロット](swfu/d/qnp-l_displacement.jpg "QNP-L 0.5[nm] ステップ プロット")
ピエゾステージ用コントローラー
ensemble QDE
ensemble QL / QLE
ensemble QLAB
A3200 Ndrive QL / QLE
QNP-XY XY軸 リニアピエゾナノステージ
●ナノポジショニング●
QNP-40-100XY 100[μm]
QNP-50-250XY 250[μm]
QNP-60-500XY 500[μm]
●仕様●
高分解能 (closed loop)
QNP-40-100XY 0.3[nm]
QNP-50-250XY 0.5[nm]
QNP-60-500XY 0.9[nm]
繰返し位置決め精度
QNP-40-100XY 2[nm]
QNP-50-250XY 4[nm]
QNP-60-500XY 5[nm]
ピエゾステージ用コントローラー
ensemble QDE
ensemble QL / QLE
ensemble QLAB
A3200 Ndrive QL / QLE
