レーザ関連部品、ナノポジショニング、サーマルソリューションのご用命は、株式会社キーストンインターナショナル

aerotech

エアロテック ロングストローク・ナノ精密位置決めステージ

aerotech nano motion technology

リニアナノポジショナー・ロータリーナノポジショナー

エアロテック社のナノポジショナーは、長い可動距離をはじめとする優れた特性により、工業生産分野の最先端研究及び開発現場で絶大な支持を得ています。



各リニアステージ用コントローラーは、こちら

各ピエゾステージ用コントローラーは、こちら




ANT95-L 単軸 リニアステージ

ANT95-L 単軸 リニアステージ

●ロングストローク●

ANT95-25-L-PLUS  25[mm]
ANT95-50-L-PLUS  50[mm]
ANT95-75-L-PLUS  75[mm]
ANT95-100-L-PLUS 100[mm]

●共通仕様●

高分解能                1[nm]
繰返し位置決め精度         ±50[nm]
絶対位置精度            ±250[nm]
静止安定性               1[nm]未満
移動速度              500[mm/sec]

ANT95-50-L-PLUS 1[nm] ステップ プロット



ANT95-XY軸 リニアステージ

ANT95-XY軸 リニアステージ

●ロングストローク●

ANT95-25-XY-ULTRA 25[mm]
ANT95-50-XY-ULTRA 50[mm]

●共通仕様●

高分解能                1[nm]
繰返し位置決め精度         ±25[nm]
2D絶対位置精度          ±250[nm]
静止安定性               1[nm]未満
移動速度              500[mm/sec]

ANT95-25-XY-ULTRA 低軸側 1[nm] ステップ プロット

ANT95-25-XY-ULTRA 2軸全システム精度



ANT130-L 単軸 リニアステージ

ANT130-L 単軸 リニアステージ

●ロングストローク●

ANT130-035-L-PLUS 35[mm]
ANT130-060-L-PLUS 60[mm]
ANT130-110-L-PLUS 110[mm]
ANT130-160-L-PLUS 160[mm]

●共通仕様●

高分解能                 1[nm]
繰返し位置決め精度          ±75[nm]
絶対位置精度            ±250[nm]
静止安定性               1[nm]未満
移動速度               500[mm/sec]

ANT130-060-L-PLUS 5[nm] ステップ プロット



ANT130-XY軸 リニアステージ

ANT130-XY軸 リニアステージ

●ロングストローク●

ANT130-060-XY-ULTRA 60[mm]
ANT130-110-XY-ULTRA 110[mm]
ANT130-160-XY-ULTRA 160[mm]

●共通仕様●

高分解能                1[nm]
繰返し位置決め精度         ±75[nm]
2D絶対位置精度       ±250~300[nm]
静止安定性               1[nm]未満
移動速度              500[mm/sec]

ANT130-160-XY-ULTRA 2D全システム精度



ANT95-R 回転ステージ

ANT95-R 回転ステージ

●回転角度●

ANT95-20-R  20[deg]
ANT95-180-R 180[deg]
ANT95-360-R 360[deg](連続)

●共通仕様●

高分解能              0.01[arc sec]
繰返し位置決め精度         1.5[arc sec]
絶対位置精度             5[arc sec]
静止安定性            0.005[arc sec]
移動速度(20-R,180-R)        20[rpm]
    (360-R)           200[rpm]

ANT95-R 0.01[arc sec] ステップ プロット



ANT130-R 回転ステージ

ANT130-R 回転ステージ

●回転角度●

ANT130-20-R  20[deg]
ANT130-180-R 180[deg]
ANT130-360-R 360[deg](連続)

●共通仕様●

高分解能              0.01[arc sec]
繰返し位置決め精度         1.5[arc sec]
絶対位置精度             5[arc sec]
静止安定性            0.005[arc sec]
移動速度(20-R,180-R)        20[rpm]
    (360-R)           200[rpm]

ANT130-R 0.01[arc sec] ステップ プロット



ANT95-L-Z リニア垂直ステージ

ANT95-L-Z リニア垂直ステージ

●ロングストローク●

ANT95-25-L-Z-PLUS 25[mm]
ANT95-50-L-Z-PLUS 50[mm]

●共通仕様●

高分解能               2[nm]
繰返し位置決め精度         ±75[nm]
絶対位置精度           ±300[nm]
静止安定性              5[nm]未満
移動速度              200[mm/sec]

ANT95-L-Z-PLUS  5[nm] ステップ プロット



ANT130-L-Z リニア垂直ステージ

ANT130-L-Z リニア垂直ステージ

●ロングストローク●

ANT130-35-L-Z-PLUS 35[mm]
ANT130-60-L-Z-PLUS 60[mm]

●共通仕様●

高分解能               2[nm]
繰返し位置決め精度         ±75[nm]
絶対位置精度           ±300[nm]
静止安定性              5[nm]未満
移動速度              200[mm/sec]

ANT130-L-Z-PLUS  5[nm] ステップ プロット


ANT95-3-V リニア垂直ステージ

ANT95-3-V リニア垂直ステージ

●ロングストローク●

●共通仕様●

高分解能               1[nm]
繰返し位置決め精度        ±100[nm]
絶対位置精度           ±200[nm]
静止安定性              1[nm]未満
移動速度              75[mm/sec]

ANT95-3-V-PLUS  1[nm] ステップ プロット


ANT130-5-V リニア垂直ステージ

ANT130-5-V リニア垂直ステージ

●ロングストローク●

●共通仕様●

高分解能               2[nm]
繰返し位置決め精度        ±100[nm]
絶対位置精度           ±200[nm]
静止安定性              2[nm]未満
移動速度              75[mm/sec]

ANT130-5-V-PLUS  2[nm] ステップ プロット



ANT-20G ゴニオメータ

ANT-20G ゴニオメータ

●回転半径●

ANT-20G-50 50[mm]
ANT-20G-90 90[mm]
ANT-20G-110 110[mm]
ANT-20G-160 160[mm]

●共通仕様●

移動角度 最大            20[deg]
高分解能              0.05[arc sec]
繰返し位置決め精度(50)       ±4[arc sec]
         (90,110,160)   ±2[arc sec]
絶対位置精度(50)          ±18[arc sec]
      (90)          ±10[arc sec]
      (110)          ±8[arc sec]
      (160)          ±6[arc sec]
静止安定性        ±0.03~0.08[arc sec]
移動速度              150[deg/sec]

ANT-20G  0.25[urad] ステップ プロット

QNP-L 単軸 リニアピエゾナノステージ

QNP-L 単軸 リニアステージ

●ナノポジショニング●

QNP-40-100L     100[μm]
QNP-50-250L     250[μm]
QNP-60-500L     500[μm]

●仕様●

高分解能  (closed loop)
      QNP-40-100L      0.3[nm]
      QNP-50-250L      0.5[nm]
      QNP-60-500L      0.9[nm]
繰返し位置決め精度          ±1[nm]

QNP-L 0.5[nm] ステップ プロット

ピエゾステージ用コントローラー
ensemble QDE
ensemble QL / QLE
ensemble QLAB
A3200 Ndrive QL / QLE

QNP-XY XY軸 リニアピエゾナノステージ

QNP-XY XY軸 リニアピエゾナノステージ

●ナノポジショニング●

QNP-40-100XY    100[μm]
QNP-50-250XY    250[μm]
QNP-60-500XY    500[μm]

●仕様●

高分解能  (closed loop)
      QNP-40-100XY      0.3[nm]
      QNP-50-250XY      0.5[nm]
      QNP-60-500XY      0.9[nm]
繰返し位置決め精度          
      QNP-40-100XY      2[nm]
      QNP-50-250XY      4[nm]
      QNP-60-500XY      5[nm]

QNP-XY upper axis linearity error

ピエゾステージ用コントローラー
ensemble QDE
ensemble QL / QLE
ensemble QLAB
A3200 Ndrive QL / QLE

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