LF1

LF1 □66mm開口　1軸ピエゾステージ

LF1はコンパクトな1軸ピエゾステージで、開口部は66mmの正方形で、移動範囲は100μm、200μm、300μmのいずれかです。低設置面積と開口部が必要な場合に推奨されます。LF1は積み重ねることができ（2軸モデルLF2を参照）、必要に応じて、Z軸に沿って50μmの移動範囲を統合することができます（3軸モデルLF3を参照）。このピエゾステージは、粗位置決めマイクロステージと組み合わせることができます（ハイブリッドシステムを参照）。

LF1

仕様　　　図面　

特徴
・□66mm開口部
・ストローク100μm,200μm,300μm
・クローズドループ制御
・シリコンセンサー技術
応用例
・超解像顕微鏡
・ナノリソグラフィー
・粒子追跡
・共焦点顕微鏡

仕様	LF1.100	LF1.200	LF1.300	単位
ストローク	100	200	300	μm
分解能	0.1	0.2	0.3	nm
単体ノイズ	0.01	0.02	0.03	nm
繰返し位置精度(全域)	0.2	0.4	0.6	nm
直線性	0.02	0.02	0.02	%
共振周波数	500	400	300	Hz
剛性	0.6	0.5	0.4	N/μm
水平使用時最大荷重※1	1	1	1	kg
垂直使用時最大荷重※1	0.5	0.5	0.5	kg
センサー	シリコンHRセンサ	シリコンHRセンサ	シリコンHRセンサ	ー
サイズ[WxLxH]	112x118x13.6	112x118x13.6	112x118x13.6	mm
材質	アルミニウム	アルミニウム	アルミニウム	ー
ケーブル長	2	2	2	m
コントローラー	標準	標準	標準	ー