CX100200

CX 1軸ステージ

CX.100及び200は、X軸100μmまたは200μmのストロークを有する安価でコンパクトなリニアナノポジショナーです。コンパクトな設計により、フォトニクスおよびファイバー位置決めアプリケーションなどの多くの用途に理想的なステージです。必要に応じて、Y軸またはY-Z軸も利用できます。2軸モデルC2および3軸モデルC3をご参照ください。

CX100

仕様　図面　

特徴
・コンパクトデザイン
・X軸　100μm,200μm
・クローズドループ制御
・シリコンセンサー技術
応用例
・アライメント
・レーザー彫刻
・フェムト秒レーザー
・共焦点顕微鏡

仕様	X.100	CX.200	単位
ストローク	100	200	μm
分解能	0.1	0.2	nm
単体ノイズ	0.01	0.02	nm
繰返し位置精度(全域)	0.2	0.4	nm
直線性	0.02	0.02	%
共振周波数	400	300	Hz
剛性	0.3	0.2	N/μm
水平使用時最大荷重※1	0.5	0.5	kg
垂直使用時最大荷重※1	0.1	0.1	kg
センサー	シリコンHRセンサー	シリコンHRセンサー	ー
サイズ[WxLxH]	48.5x48.5x21.3	48.5x48.5x21.3	mm
材質	アルミニウム	アルミニウム	ー
ケーブル長※2	2	2	m
コントローラー	標準	標準	ー