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CEDRAT_ピエゾフォーカル調整ユニット

CEDRAT社製 ピエゾフォーカル調整ユニット 仕様

OPP120SM

ポジショナーユニット OPP120SMは、増幅型ピエソアクチュエータを使い、対物レンズを垂直方向に正確に位置決めします。このポジショナーは相反する2つの要素である、ストロークと剛度をとの融合を求め、迅速共焦点顕微鏡によく適合された製品です。対物レンズとのインタフェースはご希望によりカスタム設計いたします。
またOPP120SMは、非常に高い位置決め精度のための渦電流近接センサー(ECSオプション)を組み込むことも出来ます。

ReferencesOPP120SM
最大移動量(無負荷時)140μm
最大XY回転偏差25μrad
駆動電圧-20 ~ +150 V
分解能14nm
剛度0.17N/μm
寸法65x40mm
高さ50.0mm
重量170g
共振周波数(無負荷)450Hz
応答速度1.11ms
共振周波数(負荷200g)285
応答速度175ms
静電容量3.15μF
接続コネクターRG178B/U 同軸

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