ロングストローク・ナノ精密位置決めステージ

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エアロテック社のナノポジショナーは、長い可動距離をはじめとする優れた特性により、工業生産分野の最先端研究及び開発現場で絶大な支持を得ています。

リニアナノポジショナー・ロータリーナノポジショナー

ANT95-L　単軸　リニアステージ

●ロングストローク●
ANT95-25-L-PLUS 25[mm]
ANT95-50-L-PLUS 50[mm]
ANT95-75-L-PLUS 75[mm]
ANT95-100-L-PLUS 100[mm]

●共通仕様●
高分解能　　1[nm]
繰返し位置決め精度 ±50[nm]
絶対位置精度 ±250[nm]
静止安定性　　　1[nm]未満
移動速度　500[mm/sec]

ANT95-XY軸　リニアステージ

●ロングストローク●
ANT95-25-XY-PLUS 25[mm]
ANT95-50-XY-PLUS 50[mm]

●共通仕様●
高分解能　　1[nm]
繰返し位置決め精度 ±50[nm]
絶対位置精度 ±250[nm]
静止安定性　　　1[nm]未満
移動速度　500[mm/sec]

ANT130-L　単軸　リニアステージ

●ロングストローク●
ANT130-035-L-PLUS 35[mm]
ANT130-060-L-PLUS 60[mm]
ANT130-110-L-PLUS 110[mm]
ANT130-160-L-PLUS 160[mm]

●共通仕様●
高分解能　　1[nm]
繰返し位置決め精度 ±50[nm]
絶対位置精度 ±250[nm]
静止安定性　　　3[nm]未満
移動速度　500[mm/sec]

ANT130-XY軸　リニアステージ

●ロングストローク●
ANT130-060-XY-PLUS 60[mm]
ANT130-110-XY-PLUS 110[mm]
ANT130-160-XY-PLUS 160[mm]

●共通仕様●
高分解能　　1[nm]
繰返し位置決め精度 ±50[nm]
絶対位置精度 ±250[nm]
静止安定性　　　3[nm]未満
移動速度　500[mm/sec]

ANT95-R　回転ステージ

●ロングストローク●
ANT95-20-R 20[deg]
ANT95-180-R 180[deg]
ANT95-360-R 360[deg](連続)

●共通仕様●
高分解能　 0.01[arc sec]
繰返し位置決め精度 1.5[arc sec]
絶対位置精度 5[arc sec]
静止安定性　　　0.005[arc sec]
移動速度(20-R,180-R) 　 20[rpm]
(360-R) 200[rpm]

ANT130-R　回転ステージ

●ロングストローク●
ANT130-20-R 20[deg]
ANT130-180-R 180[deg]
ANT130-360-R 360[deg](連続)

●共通仕様●
高分解能　 0.01[arc sec]
繰返し位置決め精度 1.5[arc sec]
絶対位置精度 5[arc sec]
静止安定性　　　0.005[arc sec]
移動速度(20-R,180-R) 　 20[rpm]
(360-R) 200[rpm]

ANT95-L-Z　リニア垂直ステージ

●ロングストローク●
ANT95-25-L-Z-PLUS 25[mm]
ANT95-50-L-Z-PLUS 50[mm]

●共通仕様●
高分解能　　2[nm]
繰返し位置決め精度 ±75[nm]
絶対位置精度 ±300[nm]
静止安定性　　　5[nm]未満
移動速度　200[mm/sec]

ANT130-L-Z　リニア垂直ステージ

●ロングストローク●
ANT130-35-L-Z-PLUS 35[mm]
ANT130-60-L-Z-PLUS 60[mm]

●共通仕様●
高分解能　　2[nm]
繰返し位置決め精度 ±75[nm]
絶対位置精度 ±300[nm]
静止安定性　　　5[nm]未満
移動速度　200[mm/sec]

ANT130-5-V　リニア垂直ステージ

●ロングストローク●
ANT130-5-V-PLUS 5[mm]

●共通仕様●
高分解能　　2[nm]
繰返し位置決め精度 ±100[nm]
絶対位置精度 ±200[nm]
静止安定性　　　1[nm]未満
移動速度　 75[mm/sec]

ANT-20G　ゴニオメータ

●回転半径●
ANT-20G-50 50[mm]
ANT-20G-90 90[mm]
ANT-20G-110 110[mm]
ANT-20G-160 160[mm]

●共通仕様●
移動角度　 20[deg]
高分解能　 0.05[arc sec]
繰返し位置決め精度(50) ±4[arc sec]
(90,110,160) ±2[arc sec]
絶対位置精度(50) ±18[arc sec]
(90) ±10[arc sec]
(110) ±8[arc sec]
(160) ±6[arc sec]
静止安定性　　　 ±0.03～0.08[arc sec]
移動速度　150[deg/sec]