レーザ関連部品、ナノポジショニング、サーマルソリューションのご用命は、株式会社キーストンインターナショナル

① ピエゾアシストステージとは?

ピエゾアシストステージとは20nmという最小分解能でかつ粗動(mmオーダー)を備えた微動粗動手動ステージです。主な用途はテーブルの精密位置決めや微小荷重のコントロールを要する用途（ナノインデンテーション）でも容易に実現できる手動精密ステージです。
大きさもコンパクトで簡単に持ち運びすることができ、使用方法もとても簡単です。
低予算で導入することができるリーズナブルな商品です。（*1nm=10億分の1m)

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※ピエゾアシストステージとコントローラに繋がる専用のケーブルが付属しています。
※「ピエゾアシスト」、「Piezo Assist」および「PiezoAssist」は有限会社メカノトランスフォーマの登録商標です

② ピエゾアシストステージの動作原理

■装置の構成
ピエゾアシストステージはステージの粗動機構としてマイクロメータを、微動機構としてピエゾアシスト機構をX軸,Y軸にそれぞれ持っています。
ピエゾアシスト機構には弊社ピエゾアクチュエータが内蔵されており、その伸縮機構によって精密な位置決めを実現しています。

マイクロメータは稼動範囲が最大13mmあり、10μmの分解能で位置決めができます。ピエゾアシストは稼動範囲が約35μmで20nmの分解能で位置決めができます。
ピエゾアシストステージは、この二つの調整機構を併用することで最大13mmの稼動範囲で20nmの分解能の精密位置決めが可能となっています。

■粗動機構による精密位置決め
粗動機構による精密位置決めはマイクロメータのノブを回転させ、メータ記載の目盛りにより位置調整をします。

■微動機構による精密位置決め
微動機構による精密位置決めはコントロールボックスのノブを回転させ、ピエゾアシストステージに内蔵しているピエゾアクチュエータへ供給する電圧を変化させて位置調整します。ピエゾアクチュエータは、コントローラボックスから供給する電圧によりアクチュエータの出力部の変位を制御することができます。その結果、ステージのテーブルの位置をナノメートルレベルで制御することを実現します。

③ 用途例
・オートフォーカス
・共焦点顕微鏡
・半導体、FPD検査装置
・画像処理機器
・レーザー加工
・干渉計形状測定

MTPA-2601SZPAにレンズ取付け時

■PID制御位置決めシステム
ピエゾアシストステージに変位センサーを併用したPID制御システムにより、ドリフトやヒステリシスが無く、安定した、高精度な位置決め制御が実現できます。

■PID実験状況

④ ピエゾアシストコントローラ (MTSD2001とMTSD2003)
・ピエゾアシストステージの微動調整を行う専用コントローラです。

・コントローラ種類：1軸タイプ(MTSD2001)と３軸タイプ(MTSD2003)

・コントローラのダイアルノブを回転させ、ピエゾアシストステージに内蔵している
　ピエゾアクチュエータへ供給する電圧を変化させて位置調整します。

外形図 (単位：mm) (クリックで拡大いただけます。)

専用ケーブル (2m)

仕様

※DCジャックの適応サイズはφ4mmです。お客様にて電源をご準備される際は、
　プラグ径にご注意ください。
※ピエゾアシストステージ用コントローラ(MTSD200X)の電源をOFFにすると、
　ピエゾアシストステージの位置調整が変化し、微動調整分の位置ズレが発生します。