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nanoplus社 DFBレーザーダイオード for ガスセンシング

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Do not change your ideas,
let us deliver the laser that fit your application.

nanoplus社について

nanoplus

Nanosystems and Technologies GmbH (nanoplus社) は1998年、ビュルツブルク大学テクニカルフィジックス部門から独立設立されました。それまでの研究結果であるオプトエレクロニクス素子・カスタムメイドの微細加工等の専門技術は製品化され、nanoplus社に引き継がれました。

現在nanoplus社には約30名の従業員がおります。nanoplus社は、250m²のクリーンルーム
(クラス100-10000)に半導体レーザーを製造するのに必要な施設にドライエッチング、スパッター、エバポレータ、マスクアライナなどを備えています。さらに当社には付随施設として、
120m²の高純度ガス供給施設、及び半導体製造に不可欠な純水処理施設があります。

Some impressions from the clean room

nanoplus社の主な製品は、ユニークなラテラルカップリング (特許取得済み) をもとに製造されたDFBレーザーです。これらのレーザーの複雑なカップリングは、リッジウエーブガイド (RWG レーザの両側ににあるウエーブガイド層)、上に金属グレーティングを組み込むことで製造されます。
このテクニックによってDFBレーザーは、高い単一モード利得、高効率、およそ 40dB と高いサイドモードサプレッション比 (SMSR) 及び低いバック反射感度とスレショールドを実現しています。最後の数年に開発された技術は、その後に開発されたいかなる方法をも必要とせず、GaSb、InP、および GaAs ベースの材料を含むさまざまな半導体ヘテロ構造に応用出来ます。
これらのマテリアルシステムを基本に、当社は、センシング・分光器等のアプリケーション用に 0.76 ～14.0μmのDFB及びファブリーペローレーザーを製造しています。

nanoplus_DFB Laser

nanoplus社社製 DFB レーザダイオード（分布帰還型レーザーダイオード）
DFBレーザーは波長範囲 0.76 ～ 14.0μmのLDが製作可能で、nanoplus社社の主要製品の1つです。 DFB レーザは単一縦モードでの発振し、それはレーザ出力光が非常に狭いバンド幅（一般的に5MHz未満）に集中することを意味します。DFBレーザーの発振波長は、励起電流または周囲温度を変えることで変化し、測定対象分子の吸収波長を中心にスキャンする、Tunable Diode Laser Spectroscopy (TDLAS)が実現出来ます。

ファブリー-ペロー（FP）レーザ
単一モードを必要としないアプリケーションには、ナノプラス社はおよそ 5nmの波長幅をもつファブリー-ペロー（FP）レーザを提供しています。

多数のオプションパッケージ
多数のオプションパッケージも用意し顧客のニーズに合った製品を供給することが出来ます。

TDLS (TDLAS)
DFB レーザーの単一縦モード光は、ライン幅およそ 3 MHz の非常に狭いスペクトル幅の出力光を得ることが出来ます。DFBレーザーの発振波長の制御は、ドライブ電流によっても、または温度によってもチューニング制御することが出来ます。この応用として、測定対象とされた特定のガスの分子吸収ラインを中心に DFB 発振波長をスキャンすることも出来ます。
これを Tunable Diode Laser Spectroscopy (TDLSまたはTDLAS)と言います。

その他
ナノプラス社は顧客のニーズを満たすため、DFB レーザー以外にも電子光学に係るさまざまな半導体製品を提供しています。ナノプラス社は、安定した単一モードエミッションが必要でないアプリケーションには、およそ 5nmのスペクトル幅をもつファブリーペローレーザー（FP）を提供いたします。すべての製品は、室温でのCW動作が出来、さまざまなパッケージオプションにて提供いたします。およそ10μmの DFB、FP 長波長レーザーは、量子カスケードレーザー技術にて製作することが可能です。

ガス検知用長波長DFBレーザーダイオード

今日、市場に出回っている従来型のレーザー応用ガスセンサーの多くは、発振波長2.3μm未満のスペクトル域のレーザーダイオードを備えていました。
しかし多くのガス分子の吸収帯は、より長い波長領域にあります。
例えば水分子の場合、2756nmにおける吸収度は波長1368nmの吸収線と比較して15倍あります。それゆえ、波長2.3μmより長い発振波長のレーザーの要求が高まっておりました。

近年、横モード金属グレーティングコンセプト（パテント取得済み）概念に基づく発振波長2.8～μmのDFBレーザーが、nanoplus社によって販売を開始いたしました。このデバイスは室温において連続モードで作動し、高い横モード抑制率 30dBを達成しています。
このダイオードは、以前には実現することの出来なかった新しいガスセンサーで、今やガスセンサーの重要な構成要素となっております。

Gas sensing

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製品紹介

Products	Wavelength	Packgae
DFBレーザーダイオード	760～14000nm	TO-56, TO5, TO66, 14-pin etc.
FPレーザーダイオード	760～6500nm	TO-56, TO5, TO66, 14-pin etc.
中赤外LED	1750～6500nm	Ceramic Submount, SMD
スーパールミネッセントダイオード(SLD)	760～2300nm	TO-66, C-mount, 14-pin