高電圧ベアーリングアクチュエータ HPSt500/1000

デスクリートスタッキング素子
エンドフェースはアルミナセラミック
電気的に絶縁
無電圧動作可能
表面コーティング
その他の仕様は共通仕様項目参照
□ HPSt 500/10-5/... HPSt 1000/10-5/...

最大負荷: 3500 N
最大発生力: 2800 N
開ループ感度 5mVノイズがHPSt 500/10-5/5に加わった場合: 約 0.05 nm
注) 仕様解説ページ 開ループ感度 項目参照
Type max. stroke
μm
length L
mm
capacitance
nF
stiffness
N/μm
resonance
freq
kHz
 HPSt 500/10-5/5 12/7 9 65 200 40
 HPSt 500/10-5/15 25/17 18 180 100 25
 HPSt 500/10-5/>15 >17 on request - - -

 HPSt 1000/10-5/5 13/8 9 15 210 50
 HPSt 1000/10-5/15 25/17 18 40 110 35
 HPSt 1000/10-5/25 35/25 27 65 75 25
 HPSt 1000/10-5/>25 >25 on request - - -
オプション

ネジ切りエンドピース HAg
(スクリューキャップ付き)

PSt 500/15-8/... PSt 1000/15-8/...

最大荷重力: 9000 N
最大発生力: 5500 N
開ループ感度 1mVノイズがHPSt 500/15-8/5に加わった場合: 約 0.05 nm
注) 仕様解説ページ 開ループ感度 項目参照
Type max. stroke
μm
length L
mm
capacitance
nF
stiffness
N/μm
resonance
freq
kHz
 HPSt 500/15-8/5 12/7 9 140 550 40
 HPSt 500/15-8/20 25/17 18 360 280 25
 HPSt 500/15-8/>20 >17 on request - - -

 HPSt 1000/15-8/5 12/7 9 35 600 50
 HPSt 1000/15-8/15 25/17 18 90 300 35
 HPSt 1000/15-8/25 35/25 27 130 200 25
 HPSt 1000/15-8/>25 >25 on request - - -
オプション

ネジ切りエンドピース HAg
(スクリューキャップ付き)

光学アダプター0A 1/2" アクセサリー ページ参照
ピエゾ材質 HP HS HT

□ HPSt 1000/25-15/...

最大荷重力: 22000 N
最大発生力: 13000 N
開ループ感度 10mVノイズがHPSt 1000/25-15/5に加わった場合: 約 0.05 nm
注) 仕様解説ページ 開ループ感度 項目参照
Type max. stroke
μm
length L
mm
capacitance
nF
stiffness
N/μm
resonance
freq
kHz
 HPSt 1000/25-15/5 12/7 9 85 1200 50
 HPSt 1000/25-15/20 27/20 18 210 600 35
 HPSt 1000/25-15/25 35/25 27 310 400 25
 HPSt 1000/25-15/40 55/40 36 420 300 20
 HPSt 1000/25-15/60 80/60 54 650 180 15
 HPSt 1000/25-15/80 105/80 72 900 130 12
 HPSt 1000/25-15/>80 >/80 >72 on request - -
オプション:

ネジ切りエンドピース HAg
(スクリューキャップ付き)

光学アダプター0A1" アクセサリー ページ参照
ピエゾ材質 HP HS HT

□ HPSt 1000/35-25/...

最大荷重力: 35000 N
最大発生力: 20000 N
開ループ感度 10mVノイズがHPSt 1000/35-25/5に加わった場合: 約 0.05 nm
注) 仕様解説ページ 開ループ感度 項目参照

Type max. stroke
μm
length L
mm
capacitance
nF
stiffness
N/μm
resonance
freq
kHz
 HPSt 1000/35-25/5 12/700 9 120 2000 50
 HPSt 1000/35-25/15 25/17 18 300 1000 35
 HPSt 1000/35-25/25 35/25 27 450 700 25
 HPSt 1000/35-25/40 55/40 36 600 500 20
 HPSt 1000/35-25/60 80/60 54 900 350 15
 HPSt 1000/35-25/>60 />60 >54 on request - -
オプション:

ネジ切りエンドピース HAg
(スクリューキャップ付き)
ピエゾ材質 HP HS HT