高電圧リングアクチュエータ ケーシング
予備負荷付きケーシング VS
□ HPSt 500/10-5/...VS18 / PSt 1000/10-5/...VS18
予備負荷 = 最大張力 = 200 N
最大荷重力: 3500 N
最大発生力: 2800 N
開ループ感度 10mVノイズがPSt 1000/10-5/7 VS18に加わった場合: 約 0.05 nm 開ループ感度は仕様解説ページ 開ループ感度 項目参照 共通仕様は 高電圧アクチュエータ ページを参照
・標準構成:
同軸ケーブル RG 178 1.5m BNC または レモSA 0S250コネクター付き
キャップ付き
・オプション:
UHV 互換
低温度仕様
温度安定型
逆電圧極性
ピエゾ材質 HP HS HT
アダプターリング: AR


Type max. stroke
μm
length L
mm
capacitance
nF
stiffness
N/μm
resonance
frequency

kHz
HPSt 500/10-5/7 VS18 12/7 24 65 200 30
HPSt 500/10-5/15 VS18 25/17 33 180 100 25
HPSt 500/10-5/25 VS18 35/25 42 260 70 20
HPSt 500/10-5/40 VS18 55/40 51 350 50 15
HPSt 1000/10-5/7 VS18 12/7 24 15 210 35
HPSt 1000/10-5/15 VS18 25/17 33 40 110 27
HPSt 1000/10-5/25 VS18 35/25 42 65 75 22
HPSt 1000/10-5/40 VS18 55/40 51 90 55 20
HPSt 1000/10-5/60 VS18 80/60 69 140 35 17
□ HPSt 500/15-8/...VS22 / PSt 1000/15-8/...VS22
予備負荷 = 最大張力 = 400 N
最大荷重力: 9000 N
最大発生力: 5500 N
開ループ感度 5mVノイズがHPSt 500/15-8/7 VS22に加わった場合: 約 0.05 nm 開ループ感度は仕様解説ページ 開ループ感度 項目参照 共通仕様は 高電圧アクチュエータ ページを参照
・標準構成:
同軸ケーブル RG 178 1.5m BNC またはレモSA 0S250コネクター付き
・オプション:
UHV 互換
低温度仕様
温度安定型
逆電圧極性
ピエゾ材質 HP HS HT
ポジションセンサー
光学アダプター 0A1/2": カタログセクション C参照
アダプターリング AR: カタログセクション C参照

Type max. stroke
μm
length L
mm
capacitance
nF
stiffness
N/μm
resonance
frequency

kHz
HPSt 500/15-8/7 VS22 13/8 26 140 550 30
HPSt 500/15-8/15 VS22 25/17 35 360 280 25
HPSt 500/15-8/25 VS22 35/25 44 520 180 20
HPSt 500/15-8/40 VS22 55/40 53 720 130 15
HPSt 500/15-8/60 VS22 80/60 71 1100 90 12
HPSt 500/15-8/80 VS22 105/80 89 1500 60 10
HPSt 1000/15-8/7 VS22 13/8 26 35 600 35
HPSt 1000/15-8/15 VS22 25/17 35 90 300 27
HPSt 1000/15-8/25 VS22 35/25 44 130 200 22
HPSt 1000/15-8/40 VS22 55/40 53 180 150 17
HPSt 1000/15-8/60 VS22 80/60 71 270 100 14
HPSt 1000/15-8/80 VS22 105/80 89 360 70 12
□ HPSt 1000/25-15/...VS35
予備負荷 = 最大張力 = 2000 N
最大荷重力: 22000 N
最大発生力: 13000 N
開ループ感度 10mVノイズがPSt 1000/25-15/7 VS35に加わった場合: 約 0.05 nm 開ループ感度は仕様解説ページ 開ループ感度 項目参照 共通仕様は 高電圧アクチュエータ ページを参照
・標準構成:
同軸ケーブル RG 178 1.5m BNC またはレモSA 0S250コネクター付き
・オプション:
同軸ケーブル RG 316
UHV 互換
低温度仕様
温度安定型
逆電圧極性
ピエゾ材質 HP HS HT
ポジションセンサー
光学アダプター 0A1": カタログセクション C参照
アダプターリング AR: カタログセクション C参照


Type max. stroke
μm
length L
mm
capacitance
nF
stiffness
N/μm
resonance
frequency

kHz
HPSt 1000/25-15/7 VS35 13/8 26 85 1200 40
HPSt 1000/25-15/15 VS35 25/17 35 210 600 30
HPSt 1000/25-15/25 VS35 35/25 27 310 400 25
HPSt 1000/25-15/40 VS35 55/40 53 420 300 25
HPSt 1000/25-15/60 VS35 80/60 71 650 180 20
HPSt 1000/25-15/80 VS35 105/80 89 900 130 15

□ HPSt 1000/35-25/...VS45
予備負荷 = 最大張力 = 3000 N
最大荷重力: 35000 N
最大発生力: 20000 N
開ループ感度 10mVノイズがHPSt 1000/35-25/7 VS45に加わった場合: 約 0.05 nm 開ループ感度は仕様解説ページ 開ループ感度 項目参照 共通仕様は 高電圧アクチュエータ ページを参照
・標準構成:
同軸ケーブル RG 178 1.5m BNC またはレモSA 0S250コネクター付き
・オプション:
パワーアプリケション用同軸ケーブル RG 316
UHV 互換
低温度仕様
温度安定型
逆電圧極性
ピエゾ材質 HP HS HT


Type max. stroke
μm
length L
mm
capacitance
nF
stiffness
N/μm
resonance
frequency

kHz
HPSt 1000/35-25/7 VS45 12/7 26 120 2000 40
HPSt 1000/35-25/15 VS35 25/17 35 300 1000 30
HPSt 1000/35-25/25 VS35 35/25 27 450 700 25
HPSt 1000/35-25/40 VS45 55/40 71 600 500 20
HPSt 1000/35-25/60 VS45 80/60 89 900 350 15
HPSt 1000/35-25/80 VS45 105/80 107 1300 250 12
HPSt 1000/35-25/100 VS45 130/100 125 1800 160 10