低電圧スタックリングアクチュエータ
ケーシング無し (中空シリンダー)
HPSt150/14-10/xx
最大荷重力: 6000 N
最大発生力: 4500 N
開ループ感度 1mVノイズがHPSt 150/14-10/12に加わった場合: 約 0.1 nm
注) 開ループ感度は仕様解説ページ 開ループ感度 項目参照

□ オプション:

ネジ切りエンドピースHAg
(スクリューキャップ付き)
光学アダプター0A 1/2"
(カタログセクション C参照)


Type max. stroke
μm
length L
mm
capacitance
µF
stiffness
N/μm
resonance
frequency

kHz
HPSt 150/14-10/12 16/12 13.5 2.6 250 45
HPSt 150/14-10/25 32/25 27 5.2 120 22
HPSt 150/14-10/35 50/37 注文生産      

HPSt150/20-15/xx
最大荷重力: 11000 N
最大発生力: 8000 N
開ループ感度 1mVノイズがHPSt 150/20-15/12に加わった場合: 約 0.1 nm
注) 開ループ感度は仕様解説ページ 開ループ感度 項目参照

□ オプション:

ネジ切りエンドピースHAg
(スクリューキャップ付き)
光学アダプター0A 1/2"
(カタログセクション C参照)

Type max. stroke
μm
length L
mm
capacitance
µF
stiffness
N/μm
resonance
frequency

kHz
HPSt 150/20-15/12 16/12 13.5 4.9 450 45
HPSt 150/20-15/25 32/25 27 9.8 230 22
HPSt 150/20-15/35 50/37 40.5 15 150 15
HPSt 150/20-15/50 70/50 54 20 100 10

低電圧スタックリングアクチュエータ
ケーシング付き (予備負荷付き)
HPSt150/14-10/...VS22
予備負荷 = 最大張力 = 400 N
最大荷重力: 6000 N
最大発生力: 4500 N
開ループ感度 1mVノイズがHPSt 150/14-10/12 VS22に加わった場合: 約 0.1 nm
注) 開ループ感度は仕様解説ページ 開ループ感度 項目参照

□ 標準構成:
同軸ケーブル RG-178 1 m BNCコネクター付き

□ オプション:
同軸ケーブル RG 178 1 m レモSA 00250 または 0S250コネクター付き
UHV 互換
低温度仕様
温度安定型
位置検出
光学アダプター0A 1/2":
アダプターリング AR: カタログセクション C参照
Type max. stroke
μm
length L
mm
capacitance
µF
stiffness
N/μm
resonance
frequency

kHz
HPSt 150/14-10/12 VS22 16/12 31 2.6 250 30
HPSt 150/14-10/25 VS22 32/25 44 5.2 120 20
HPSt 150/14-10/40 VS22 50/37 58 7.8 70 17
HPSt 150/14-10/55 VS22 70/50 71 11 50 15

HPSt150/20-15/...VS35

予備負荷 = 最大張力 = 700 N
最大荷重力: 11000 N
最大発生力: 8000 N
開ループ感度 1mVノイズがHPSt 150/20-15/12 VS35に加わった場合: 約 0.1 nm
注) 開ループ感度は仕様解説ページ 開ループ感度 項目参照

□ 標準構成:
同軸ケーブル RG-178 1 m BNCコネクター付き

□ オプション:
同軸ケーブル RG 178 1 m レモSA 00250 または 0S250コネクター付き
UHV 互換
低温度仕様
温度安定型
位置検出
光学アダプター0A 1": アダプターリング AR:
カタログセクション C参照

Type max. stroke
μm
length L
mm
capacitance
µF
stiffness
N/μm
resonance
frequency

kHz
HPSt 150/20-15/12 VS35 16/12 31 4.9 450 30
HPSt 150/20-15/25 VS35 32/25 44 9.8 230 20
HPSt 150/20-15/40 VS35 50/37 58 15 150 17
HPSt 150/20-15/55 VS35 70/50 71 20 100 15