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ピエゾカートリッジケーシング低電圧アクチュエータ（ネジ付きフロントマウントタイプ）


スタックアクチュエーターのカートリッジ仕様は、フロントマウントネジを使って簡単に取り付けることが可能で洗練された設計です。システムの粗調整は、このフロントマウントネジを使うことで出来ます。ピエゾカートリッジは、従来のリードネジ穴に取り付け可能です。調整目的のための機械的なアレンジメントは、ピエゾカートリッジを使用することによって、非常に簡単にアップグレード出来ます。


ピエゾカートリッジをベースにしたミラーマウントで、粗調整は取り付けねじで調整し、微調整はピエゾによる超精密調整を達成しています。ピエゾカートリッジの硬度は、取り付けプレートから、スタック + ケーシングを通してムービングエンドまでの力の伝達、さらにスクリューマウントの品質により、通常の取り付けスタックと比較すると低下します。止めナットは、付け力を増加させるように働きます。したがって、ピエゾカートリッジは高い負荷に耐えることが出来るが、発生力は硬度が低いため抑えらます。ほとんどのアプリケーション（例えば調整目的）は負荷が一定です。

標準構成: ケーシング: ステンレススチール接続ケーブル: 1m 同軸ケーブル RG-178 BNC コネクター付き	オプション: 同軸ケーブル RG-178 (レモSAコネクター 00250または 0S250) 位置検出サーモスタブ

□　FPSt150/4/...M8x0.5　(予備負荷無し)

最大負荷: 150 N
開ループ感度
1mVノイズがFPSt 150/4/20に加わった場合: 約 0.1 nm
注) 仕様解説ページ開ループ感度項目参照

Type	max. stroke μm	length L mm	Capacitance nF
FPSt 150/4/20 M8	27/20	22	340
FPSt 150/4/40 M8	55/40	40	700
FPSt 150/4/60 M8	80/60	58	1000

□　FPSt150/5/...M10x0.75　(予備負荷無し)

最大負荷: 600 N
開ループ感度 1mVノイズがFPSt 150/5/20に加わった場合: 約 0.1 nm
注) 仕様解説ページ開ループ感度項目参照

Type	max. stroke μm	length L mm	Capacitance nF
FPSt 150/5/20M10	27/20	23	800
FPSt 150/5/40M10	55/40	41	1600
FPSt 150/5/60M10	80/60	59	2400
FPSt 150/5/80M10	105/80	77	3200
FPSt 150/5/100 M10	130/100	95	4000

FPSt150/5/...M12x0.5(-BD)　(予備負荷無し)

ニューポート社製ステージ
MRL 80.25 SL 用
最大負荷: 600 N
開ループ感度 1mVノイズがFPSt 150/5/20に加わった場合: 約 0.1 nm
注) 仕様解説ページ開ループ感度項目参照

Type	max. stroke　μm	length L　mm	Capacitance　nF
FPSt 150/5/20M12 (BD)	27/20	25	800
FPSt 150/5/30M12 (BD)	40/30	34	1200
FPSt 150/5/40M12 (BD)	60/40	43	1600
FPSt 150/5/60M12 (BD)	80/60	61	2400
FPSt 150/5/80M12 (BD)	105/80	79	3200
FPSt 150/5/100 M12 (BD)	130/100	97	4000
FPSt 150/5/120 M12 (BD)	160/120	115	4800
FPSt 150/5/140 M12 (BD)	190/140	133	5600

FPSt150/7/...M14x1

(予備負荷付き)

予備負荷 = 最大張力 = 約 200 N
最大負荷: 1500N
開ループ感度 1mVノイズがFPSt 150/7/20に加わった場合: 約 0.1 nm
注) 仕様解説ページ開ループ感度項目参照

Type	max. stroke　μm	length L　mm	Capacitance　µF
FPSt 150/7/2000 M14	27/20	28	1.8
FPSt 150/7/4000 M14	60/40	46	3.6
FPSt 150/7/6000 M14	80/60	64	5.4
FPSt 150/7/8000 M14	105/80	82	7.2
FPSt 150/7/100 M14	130/100	100	9
FPSt 150/7/120 M14	160/120	118	11
FPSt 150/7/140 M14	190/140	136	13

FPSt150/10/...M18x1

(予備負荷付き)

予備負荷 = 最大張力 = 約 400 N
最大負荷: 3000 N
開ループ感度 1mVノイズがFPSt 150/10/20に加わった場合: 約 0.1 nm
注) 仕様解説ページ開ループ感度項目参照

Type	max. stroke μm	length L mm	Capacitance µF
FPSt 150/10/20 M18	27/20	28	3.6
FPSt 150/10/40 M18	55/40	46	7.2
FPSt 150/10/60 M18	80/60	64	11
FPSt 150/10/80 M18	105/80	82	14.5
FPSt 150/10/100 M18	130/100	100	18
FPSt 150/10/120 M18	160/120	118	21.5
FPSt 150/10/140 M18	190/140	136	25