低電圧エレクトロストリックティブ スタック
動作電圧 0 〜 +150 V、無極性 (予備負荷ケーシング VS)
□ ESt150/5/...VS10

予備負荷 = 最大張力 = 150 N
最大発生力: 500 N
開ループ感度 1mVノイズがESt 150/5/6 VS10に加わった場合: 約 0.05 nm

注) 開ループ感度は仕様解説ページ 開ループ感度 項目参照

Type max. stroke
μm
length L
mm
Capacitance
nF
stiffness
N/μm
ESt 150/5/6 VS10 6 19 600 50
ESt 150/5/12 VS10 12 28 1200 25
ESt 150/5/18 VS10 18 37 1800 16
ESt 150/5/25 VS10 25 46 2400 12
- - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - -
□ ESt150/7/...VS12

予備負荷 = 最大張力 = 200 N
最大発生力: 1000 N
開ループ感度 1mVノイズがESt 150/7/6 VS12に加わった場合: 約 0.05 nm

注) 開ループ感度は仕様解説ページ 開ループ感度 項目参照

Type max. stroke
μm
length L
mm
Capacitance
µF
stiffness
N/μm
ESt 150/7/6 VS12 6 19 2 100
ESt 150/7/12 VS12 12 28 4.2 50
ESt 150/7/18 VS12 18 37 6.3 33
ESt 150/7/25 VS12 25 46 8.4 25
ESt 150/7/40 VS12 40 64 12.6 20
フロントマウント カートリッジタイプ
FESt150/5/...M10x0.75 受注生産
FESt150/5/...M12x0.5(-BD)

最大負荷: 500 N
開ループ感度 1mVノイズがFESt 150/5/12 M12に加わった場合: 約 0.1 nm

注) 開ループ感度は仕様解説ページ 開ループ感度 項目参照<

Type max. stroke
μm
length L
mm
Capacitance
nF
FESt 150/5/12 M12 (BD) 12 31 1200
FESt 150/5/18 M12 (BD) 18 40 1800
FESt 150/5/25 M12 (BD) 25 48 2400
FESt 150/5/40 M12 (BD) 40 67 3600